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Canada Goose Damen beschleunigte Exposition Der Abbau Reflexionsvermögen wurde

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Die Kohlenstoffverunreinigung auf extrem ultravioletten (EUV) Masken ist ein kritisches Thema verursachen Durch Abbau und unerwartete Auswirkungen auf die Abbildungsleistung. In dieser Canada Goose Damen Arbeit wurde eine Reihe von Kohlenstoffverunreinigung Experimente auf einem gemusterten EUV-Maske durchgeführt wird. Die Auswirkungen der Kohlenstoffverunreinigung auf Abbildungsleistung wurde mit aktinischer EUV kohärente Streuung Mikroskopie (CSM), kombiniert mit einer in-situ beschleunigt Dekontaminationssystem (ICS), die auf 11B EUVL Strahllinie bei Pohang Lichtquelle installiert Canada Goose Jacken Wien wurde analysiert (PLS). Darüber hinaus ist die Topographie der Kohlenstoffverunreinigung auf die strukturierte Maske wurde mit einem Rasterelektronenmikroskop (SEM) untersucht die Maske kritische Dimension (CD) und das Reflexionsvermögen wurden im Vergleich vor und nach der Kohlenstoffverunreinigung durch beschleunigte Exposition Der Abbau Reflexionsvermögen wurde als 5,5% nach 3 u0026 nbsp gemessen; .. h Exposition, die verursacht ~ 20 u0026 nbsp; nm Kohlenstoffabscheidung Eine Maske CD Wechsel der 88 u0026 nbsp ;. nm-Linie und der Raum Muster zeigte einen ähnlichen Trend, aber unterschiedliche Absolutwerte wie von CSM und CD-SEM gemessen Dieser Unterschied bestätigt die Bedeutung der aktinischen Prüftechnik, welche die praktische emuliert. Abbildungsbedingung (6 ° Einfallswinkel) als EUV-Belichtungsanlage.
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